[Video] Máy khối phổ dành cho các ứng dụng trong nghiên cứu và phát triển và các hệ thống phân tích
CHLB ĐỨC – Để sử dụng trong các hệ thống phân tích, kỹ thuật in khắc cực tím (1) (EUV – Extreme Ultraviolet Litography) và trong lĩnh vực nghiên cứu và phát triển, công ty Pfeiffer Vacuum đã giới thiệu máy khối phổ (2) HiQuad Neo, có độ nhạy cao, dải tần nhạy sáng rộng (3) và tốc độ đo cao.
(1) Kỹ thuật in khắc cực tím: là công nghệ in thạch bản thế hệ tiếp theo, sử dụng một loạt các bước sóng cực tím, trải rộng khoảng 2% băng thông FWHM khoảng 13,5nm, giúp tạo ra những thế hệ chip xây dựng trên quy trình 7nm.
(2) Phương pháp khối phổ: hay phương pháp phổ khối lượng là một kỹ thuật dùng để đo đạc tỉ lệ khối lượng trên điện tích của ion; dùng thiết bị chuyên dụng là khối phổ kế.
(3) Dải tần nhạy sáng (dynamic range): hay dải động là một dải biên độ thể hiện mức độ chênh lệch giữa vùng sáng nhất và vùng tối nhất của cảnh mà máy ảnh ghi nhận được. Vùng sáng nhất được mặc định là vùng màu trắng và vùng tối nhất được mặc định là vùng màu đen. Đơn vị dùng để đo khoảng dynamic range trong máy ảnh số là f-stop (Zone hoặc EV).
Công ty Pfeiffer Vacuum có trụ sở tại thành phố Asslar (CHLB Đức), là một trong những nhà phát triển, sản xuất và cung cấp giải pháp công nghệ chân không và thử nghiệm rò rỉ hàng đầu thế giới. Với máy khối phổ HiQuad Neo mới ra mắt, công ty Pfeiffer Vacuum cho biết sản phẩm kết hợp hiệu suất cao, tính linh hoạt và dễ sử dụng. Máy khối phổ được cho là đạt tốc độ đo đặc biệt cao lên tới 125 μs/u. Máy được đặc trưng bởi độ nhạy rất tốt và dải tần nhạy sáng rộng. Tùy thuộc vào ứng dụng, có thể lựa chọn các dải khối, đường kính thanh, nguồn ion, đầu dò, giao diện và chiều dài cáp khác nhau. Với các đặc tính này, máy HiQuad Neo đặc biệt phù hợp cho các ứng dụng trong nghiên cứu và phát triển, nhưng cũng phù hợp để tích hợp vào các hệ thống phân tích và để xác minh độ sạch trong kỹ thuật in khắc cực tím.
Công ty Pfeiffer Vacuum chỉ ra rằng các thiết bị từ thế hệ trước cũng có thể được nâng cấp lên cấp độ công nghệ mới nhất của máy HiQuad Neo bằng cách sử dụng một số sản phẩm hiện có, chẳng hạn như máy phân tích. Điều này nhằm giảm thiểu chất thải và chi phí.
Máy khối phổ dễ vận hành với sự trợ giúp của phần mềm PV MassSpec. Theo các nhà phát triển, nó cung cấp một nền tảng rõ ràng và thân thiện với khách hàng để ghi lại và hiển thị dữ liệu đo lường và các bộ thông số. Với trình sắp xếp tích hợp, các trình tự đo lường hoàn chỉnh được lập trình dễ dàng và tự động. Chỉ cần một cú nhấp chuột là có thể thực hiện phát hiện rò rỉ và chẩn đoán chân không. Phần mềm cũng cho phép hiệu chuẩn và điều chỉnh tự động. Dễ dàng xác định các công thức đo lường và cũng có thể liên kết dữ liệu khối phổ với các tín hiệu bên ngoài. Ngoài ra, cũng có thể giao tiếp trực tiếp qua giao thức truyền thông Ethernet (thông qua giao thức truyền thông đa nền tảng cho tự động hóa công nghiệp OPC-UA – Open Platform Communications Unified Architecture). Các chức năng này được thiết kế để cung cấp giải pháp hiệu quả và thân thiện với khách hàng cho nhiều ứng dụng khác nhau.
Để xem các tin bài khác về “Máy khối phổ”, vui lòng nhấn vào đây.
Nguồn: Hannover Messe
Lưu ý:
Để xem và khai thác hiệu quả nội dung của video clip nói trên (từ YouTube/ một dịch vụ của Google), Quý vị có thể thực hiện các bước sau:
1. Nếu tốc độ internet nhanh, có thể mở chế độ xem toàn màn hình bằng cách nhấn vào khung [ ] tại góc phải (phía dưới góc phải của video)
2. Chọn chế độ hình ảnh tốt nhất của đoạn video, hãy click vào hình bánh xe răng cưa và chọn chất lượng cao hơn (hoặc HD) theo ý muốn
3. Để hiển thị nội dung phụ đề, nhấn vào nút biểu tượng phụ đề [cc]. Một số video không có chức năng này sẽ không có biểu tượng phụ đề.
4. Quý vị có thể nghe hiểu tiếng Anh và có nhu cầu chia sẻ thông tin đến cộng đồng, hãy hỗ trợ techMAG biên dịch nội dung video và gửi cho chúng tôi để có cơ hội đăng thông tin lên technologyMag.net
